[发明专利]环状屏蔽部件、其构成零件和基板载置台

摘要

本发明提供一种防止在环状屏蔽部件的构成零件和基板载置台之间产生间隙并能够防止构成零件破损的环状屏蔽部件。屏蔽环(15)由四个环构成零件(41)～(44)构成，在各环构成零件(41)～(44)的长度方向上的固定端设置有全方向移动限制部(45)，单方向移动容许部(46)与全方向移动限制部(45)离开地设置，例如以一个环构成零件(41)的固定端(41a)的端面与相邻的另一环构成零件(43)的自由端(43b)的侧面抵接，一个环构成零件(41)的自由端(41b)的侧面与相邻的又一环构成零件(44)的固定端(44a)的端面抵接的方式，组合各环构成零件(41)～(44)。

主权项

一种环状屏蔽部件，其在对矩形的基板实施等离子体处理的基板处理装置的处理室内以包围载置所述基板的基板载置台的矩形的载置面的周围的方式设置，所述环状屏蔽部件的特征在于：所述环状屏蔽部件包括环状屏蔽部件的构成零件的组合体，所述构成零件包括沿所述矩形的载置面的一边配置的绝缘性的长尺寸状物件，所述构成零件具有：第一移动限制部，其设置于该长尺寸状物件的长度方向上的一端，限制所述构成零件的全方向上的移动；和第二移动限制部，其在所述长度方向上与所述第一移动限制部离开地设置，限制所述构成零件的所述长度方向以外的移动，所述第一移动限制部具有：第一导向件，其设置为相对于所述基板载置台不能移动；和第一导向件孔，其为与该第一导向件动配合的凹部，所述第一导向件的各个侧面和所述第一导向件孔的各个侧面的间隙设定得小，以限制所述构成零件的全方向上的移动，所述第二移动限制部具有：第二导向件，其设置为相对于所述基板载置台不能移动；和第二导向件孔，其为与该第二导向件动配合的凹部，所述第二导向件孔的所述长度方向上的长度设定为比所述第二导向件的所述长度方向上的长度大，在所述环状屏蔽部件中，各个所述构成零件以一个所述构成零件的所述长度方向上的一端的端面与相邻的另一所述构成零件的所述长度方向上的另一端的侧面抵接，且所述一个所述构成零件的所述长度方向上的另一端的侧面，与不同于相邻的所述另一所述构成零件的、相邻的又一所述构成零件的所述长度方向上的一端的端面抵接的方式组合。