[发明专利]一种混合热场结构蓝宝石晶体生长炉在审
申请号: | 201510527468.0 | 申请日: | 2015-08-25 |
公开(公告)号: | CN105040093A | 公开(公告)日: | 2015-11-11 |
发明(设计)人: | 赵丽丽;吕铁铮;宋爱利;赵丹洋;张航宇 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/20 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人: | 侯静 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 一种混合热场结构蓝宝石晶体生长炉,本发明涉及蓝宝石晶体生长炉。本发明要解决现有装置存在高温下材料挥发污染热场,并且能耗大,晶体的性价比低的技术问题。该装置包括外壳、钼桶、顶保温层、底保温层、高温区侧保温层、填充球、钨杆加热器、钼坩埚和坩埚轴;其中钼坩埚设置在钼桶内部,钼坩埚的底部与坩埚轴连接,坩埚轴穿过底保温层。本发明装置结合了石墨加热器、钨钼材料、氧化铝材料、碳毡材料的保温的特点,既能解决高温下材料挥发污染热场的缺点,又能有效地降低能耗,从而提高晶体的性价比。本发明用于生长制备蓝宝石晶体。 | ||
搜索关键词: | 一种 混合 结构 蓝宝石 晶体生长 | ||
【主权项】:
一种混合热场结构蓝宝石晶体生长炉,其特征在于该混合热场结构蓝宝石晶体生长炉包括外壳(1)、钼桶(3)、顶保温层(2)、底保温层(9)、高温区侧保温层(5)、填充球(4)、钨杆加热器(6)、钼坩埚(7)和坩埚轴(8);其中钼坩埚(7)设置在钼桶(3)内部,钼坩埚(7)的底部与坩埚轴(8)连接,坩埚轴(8)穿过底保温层(9);所述钼桶(3)为筒状中空密封结构,钼桶(3)顶端设有顶保温层(2),底部设有底保温层(9),钼桶(3)内侧面设有高温区侧保温层(5),在高温区侧保温层(5)的内侧设置多个钨杆加热器(6),钨杆加热器(6)均匀围绕在钼坩埚(7)外侧;其中多个填充球(4)填充在钼桶(3)的中空结构中;所述外壳(1)设置在钼桶(3)、上保温层(2)和底保温层(9)的外侧。
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