[发明专利]水冷环形热阴极离子源中和器

摘要

本发明公开了一种水冷环形热阴极离子源中和器，属于光电技术领域。它包括主体、光阑、电极固定板、钨丝电极柱、前侧电极和后侧电极，电极固定板固定在主体上，光阑固定在主体上端，钨丝电极柱穿过电极固定板，前侧电极、后侧电极固定在电极固定板上；还包括冷却水管和环状钨丝，环状钨丝固定在主体上，前侧电极、后侧电极分别套在钨丝电极柱下端；冷却水管固定在主体外侧的凹形半圆槽上。本发明结构简单、经济实用、使用方便，成本低、寿命长，采用水冷方式，降低了热阴极发热导致温度升高对系统稳定性和加工去除稳定性的影响，使得离子源在应用中更加稳定和可靠。

主权项

一种水冷环形热阴极离子源中和器，包括主体（1）、光阑（2）、电极固定板（3）、钨丝电极柱（7）、前侧电极（10）和后侧电极（11），电极固定板（3）固定在主体（1）上，光阑（2）固定在主体（1）上端，钨丝电极柱（7）穿过电极固定板（3），前侧电极（10）、后侧电极（11）固定在电极固定板（3）上；其特征在于，还包括冷却水管（12）和环状钨丝（13），环状钨丝（13）固定在主体（1）上，前侧电极（10）、后侧电极（11）分别套在钨丝电极柱（7）下端；冷却水管（12）固定在主体（1）外侧的凹形半圆槽上。