[发明专利]振动式传感器装置有效
| 申请号： | 201510531246.6 | 申请日： | 2015-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN105388323B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 吉田勇作;吉田隆司;汤本淳志 | 申请（专利权）人： | 横河电机株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/10 | 分类号： | G01P15/10 |
| 代理公司： | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种振动式传感器装置，具备：可动部，其移动方向被设定为第1方向；支撑部，其沿与所述第1方向相交叉的第2方向延伸而与所述可动部以及固定部连接，将所述可动部支撑为，能够相对于所述固定部在所述第1方向上相对地进行移动；以及振子，其至少一部分组装于所述支撑部上，在所述第2方向上被赋予拉伸应力。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 传感器 装置 | ||
【主权项】：
1.一种振动式传感器装置，其具备：/n可动部，其能够在第1方向上移动；/n支撑部，其沿与所述第1方向相交叉的第2方向延伸且与所述可动部以及固定部连接，将所述可动部支撑为，能够在所述第1方向上移动；以及/n振子，其至少一部分组装于所述支撑部上并能够振动，/n所述振子以扩散有原子半径比硅材料的原子半径小的杂质而在第2方向上始终赋予有拉伸应力的状态进行配置，/n所述振子在与所述支撑部振动的方向即所述第1方向正交的第3方向上振动。/n
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