[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体有效
| 申请号： | 201510531820.8 | 申请日： | 2015-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN105387851B | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 田中悟 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;许梅钰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有优异的物理量检测性能的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：可动部(42)，可动部(42)具有第一可动部(421)、和在施加了加速度时所产生的转矩与第一可动部(421)不同的第二可动部(422)，并且以能够绕位于所述第一可动部(421)与所述第二可动部(422)之间的轴J而进行摆动的方式而被支承；第一检测电极(511)，其以与第一可动部(421)对置的方式而被配置；第二检测电极(512)，其以与第二可动部(422)对置的方式而被配置；框状部(6)，其在对可动部(42)进行俯视观察时，以包围可动部(42)的周围的至少一部分的方式而被配置，并且与可动部(42)等电位。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
1.一种物理量传感器，其特征在于，具有：可动电极，其具备可动部，所述可动部具有设置于其一方侧的第一可动部、和设置于其另一方侧并在施加了加速度时所产生的转矩与所述第一可动部不同的第二可动部，并且所述可动部以能够绕位于所述第一可动部以及所述第二可动部之间的轴进行摆动的方式而被支承；第一电极，其以与所述第一可动部对置的方式而被配置；第二电极，其以与所述第二可动部对置的方式而被配置；第三电极，其以与所述可动部对置、且在俯视观察时与所述第一电极以及所述第二电极不重叠的方式而被配置，并且与所述可动电极等电位；周围配置部，其在对所述可动部进行俯视观察时，以包围所述可动部的周围的至少一部分的方式而被配置，并且与所述可动电极等电位，在所述俯视观察时，所述第三电极分别被设置于所述第一电极与所述第二电极之间、所述第一电极的与所述第二电极相反的一侧、以及所述第二电极的与所述第一电极相反的一侧。
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