[发明专利]新型化学沉铜装置有效
申请号: | 201510540102.7 | 申请日: | 2015-08-28 |
公开(公告)号: | CN105132896B | 公开(公告)日: | 2018-06-19 |
发明(设计)人: | 颜国秋;武瑞黄;周涛;黄伟;徐守恒;付海涛 | 申请(专利权)人: | 上海美维电子有限公司;上海美维科技有限公司 |
主分类号: | C23C18/38 | 分类号: | C23C18/38 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 李强 |
地址: | 201613 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型化学沉铜装置,其特征在于,包括槽体;所述槽体设有容腔;所述容腔用于存放沉铜液;鼓风机;所述鼓风机设置在所述槽体的外部;出气管道;所述出气管道设置在所述容腔内;所述出气管道上设有出气孔;所述出气管道与所述鼓风机连通;所述鼓风机向所述出气管道内鼓气,气体从所述出气孔吹入所述容腔内,使所述容腔内的沉铜液流动。本发明提供的新型化学沉铜装置,通过出气孔吹出的气体对容腔内的沉铜液进行搅拌,使容腔内的沉铜液保持均匀,确保线路板上各沉铜区域的沉铜量及沉铜速度保持一致,确保线路板的沉铜质量,提高线路板的品质。 1 | ||
搜索关键词: | 容腔 出气管道 鼓风机 沉铜 线路板 沉铜装置 新型化学 沉铜液 出气孔 槽体 速度保持 吹出 吹入 鼓气 铜液 连通 外部 流动 | ||
【主权项】:
1.新型化学沉铜装置,其特征在于,包括:槽体;所述槽体设有容腔;所述容腔用于存放沉铜液;鼓风机;所述鼓风机设置在所述槽体的外部;出气管道;所述出气管道设置在所述容腔内;所述出气管道上设有出气孔;所述出气管道与所述鼓风机连通;所述鼓风机向所述出气管道内鼓气,气体从所述出气孔吹入所述容腔内,使所述容腔内的沉铜液流动;温度调节装置;所述温度调节装置用于将要进入所述出气管道内的气体的温度进行调节;所述温度调节装置包括热交换器;所述热交换器设置在气体从所述鼓风机鼓出后进入所述出气管道之前的路径上;所述热交换器包括进液口和出液口;热交换媒质从所述进液口流入,与经过所述热交换器的气体发生热交换后,从所述出液口流出。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
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