[发明专利]一种消除波长双峰的808nm激光器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201510540308.X 申请日: 2015-08-28
公开(公告)号: CN105071220B 公开(公告)日: 2017-11-17
发明(设计)人: 苏建;朱振;李沛旭;于果蕾;徐现刚 申请(专利权)人: 山东华光光电子股份有限公司
主分类号: H01S5/068 分类号: H01S5/068;H01S5/022
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司37219 代理人: 吕利敏
地址: 250101 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及一种消除波长双峰的808nm激光器及其制备方法,包括在激光器芯片的N面电极制备孔;将处理后的激光器芯片放置在金属板上,所述激光器芯片的含孔一面与所述金属板背离设置;采用808nm波长的激光对所述激光器芯片进行照射;将处理后的激光器芯片进行烘烤,温度范围120‑150℃,烘烤1‑2小时;对激光器芯片封装测试,完成制备。本发明所述消除波长双峰的808nm激光器,其结构简易,制作过程简单,通过在所述激光器芯片的N面电极上制备孔、后续采用激光照射和烘烤处理,进而减小激光器芯片受内部压应力影响,使激光器波长双峰减少,大大提高了激光器生产合格率。
搜索关键词: 一种 消除 波长 双峰 808 nm 激光器 及其 制备 方法
【主权项】:
消除波长双峰的808nm激光器的制备方法,其中所述消除波长双峰的808nm激光器,包括激光器芯片,在所述激光器芯片的N面电极上设置有延伸至外延衬底层的孔;所述孔横穿设置在所述激光器芯片的N面电极上,并嵌入所述外延衬底层内;其特征在于,该制备方法包括:(1)在激光器芯片的N面电极制备孔,去除孔对应的N面电极金属,直至裸露出所述激光器芯片的外延衬底层;(2)将经步骤(1)处理后的激光器芯片放置在金属板上,所述激光器芯片的含孔一面与所述金属板背离设置;(3)采用808nm波长的激光对所述激光器芯片进行照射;(4)将经步骤(3)处理后的激光器芯片进行烘烤,温度范围120‑150℃,烘烤1‑2小时;(5)对激光器芯片封装测试,完成制备。
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