[发明专利]疾病检测仪

摘要

特别的，本发明提供了一种疾病检测的仪器，包含生物样品输送系统，检测器件和探测器件。所述检测器件和探测器件包含一种微型器件，支持微型器件的衬底，接触待测生物样品的微型器件，能够测量生物材料在微观尺度的电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学或力学性质。

主权项

一种检测生物样本中疾病的装置，包括由一方法制造的检测器件，该方法包括：提供一个衬底；依次淀积第一材料与第二材料作为两层至衬底上，形成材料堆叠；用对第一材料具有选择性的微电子工艺对第二材料图形化，在第二材料层中创造至少部分的凹陷区域；在材料堆叠上淀积第三材料，覆盖第二材料；通过抛光或回蚀工艺，去除第二材料上部的第三材料的部分；用微电子工艺图形化第三材料，以形成至少部分的凹陷区域；淀积第四材料至材料堆叠上；通过抛光或回蚀工艺，去除第二、第三材料上部的第四层材料；及淀积第五材料；图形化第五种材料以形成沟槽；以平板或另一器件覆盖材料堆叠；所述的第二材料通过对第一材料具有选择性的光刻和刻蚀工艺实现图形化，以形成第二材料层中的部分凹陷区域；所述的第四材料通过化学机械抛光或回蚀工艺实现图形化，以截止于第二和第三材料上，以形成能够检测来自生物样本的响应信号的检测器。