[发明专利]一种硝酸钠单晶的提拉法生长工艺在审
申请号: | 201510541293.9 | 申请日: | 2015-08-28 |
公开(公告)号: | CN105063753A | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 陈良;熊巍;周尧;袁晖 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
主分类号: | C30B29/22 | 分类号: | C30B29/22;C30B15/00 |
代理公司: | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人: | 曹芳玲;郑优丽 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种硝酸钠单晶的提拉法生长工艺,包括以下步骤:将原料硝酸钠于100~200℃烘干2~5小时后,装入坩埚中;将装料后的坩埚置于提拉炉中,经2~5小时将炉温升至350~450℃,并保温1~2h,使坩埚中的硝酸钠原料全部熔化,缓慢降低加热功率,当控制炉温为250~350℃时,将籽晶浸到熔体中,旋转籽晶并向上提拉,开始晶体生长,提拉速率为1.0~10mm/h,旋转速率为10~20r/min,固液界面的温度梯度为10~30℃/cm;根据晶体生长趋势,微量调整加热功率,完成放肩和等径过程,生长完毕,提出晶体使之脱离熔体,以20~50℃/h的降温速率使炉体冷却至室温并取出晶体。本发明晶体的热应力小,可减少晶体开裂。 | ||
搜索关键词: | 一种 硝酸钠 提拉法 生长 工艺 | ||
【主权项】:
一种硝酸钠单晶的提拉法生长工艺,其特征在于,包括以下步骤:1)将原料硝酸钠于100~200℃烘干2~5小时后,装入坩埚中;2)将装料后的坩埚置于提拉炉中,经2~5小时将炉温升至350~450℃,并保温1~2h,使坩埚中的硝酸钠原料全部熔化,缓慢降低加热功率,当控制炉温为250~350℃时,将籽晶浸到熔体中,旋转籽晶并向上提拉,开始晶体生长,提拉速率为1.0~10mm/h,旋转速率为10~20r/min,固液界面的温度梯度为10~30℃/cm;根据晶体生长趋势,微量调整加热功率,完成放肩和等径过程,生长完毕,提出晶体使之脱离熔体,以20~50℃/h的降温速率使炉体冷却至室温并取出晶体。
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