[发明专利]激光加工装置在审
申请号: | 201510541868.7 | 申请日: | 2015-08-28 |
公开(公告)号: | CN105397284A | 公开(公告)日: | 2016-03-16 |
发明(设计)人: | 能丸圭司;片山浩一 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | B23K26/067 | 分类号: | B23K26/067;B23K26/0622 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供激光加工装置。具有保持被加工物的被加工物保持构件和对由被加工物保持构件保持的被加工物照射激光光线的激光光线照射构件,激光光线照射构件具有:脉冲激光振荡器,其按照规定的重复频率振荡脉冲激光光线;第一聚光器和第二聚光器,它们对从脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线进行会聚;以及分支构件,其配设在脉冲激光振荡器与第一聚光器和第二聚光器之间,将从脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线朝向第一聚光器和第二聚光器交替地分支,分支构件具有光弹性调制器,光弹性调制器由压电元件和合成石英一体地形成,对压电元件施加与合成石英的固有振动频率对应的频率的高频电压,使激光光线的偏振面交替地调制成0度和90度。 | ||
搜索关键词: | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】:
一种激光加工装置,其具有:被加工物保持构件,其保持被加工物;以及激光光线照射构件,其对由该被加工物保持构件保持的被加工物照射激光光线,其特征在于,该激光光线照射构件具有:脉冲激光振荡器,其按照规定的重复频率振荡脉冲激光光线;第一聚光器和第二聚光器,它们对从该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线进行会聚;以及分支构件,其配设在该脉冲激光振荡器与该第一聚光器和该第二聚光器之间,将从该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线朝向该第一聚光器和该第二聚光器交替地分支,该分支构件具有光弹性调制器,该光弹性调制器由压电元件和合成石英一体地形成,对该压电元件施加与该合成石英的固有振动频率对应的频率的高频电压,从而使激光光线的偏振面交替地调制成0度和90度。
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