[发明专利]硅粉回收方法和硅粉回收装置有效
| 申请号： | 201510542262.5 | 申请日： | 2015-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN105384173B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 藤田敦史;吉田干;内田正喜 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供硅粉回收方法和硅粉回收装置，有效地回收去除了水分的硅粉。使硅吸附板(32)和硅通过限制板(33d)接触从使磨石(103d)与硅晶片(S)抵接来进行加工的加工装置(100)排出的包含硅粉(P)的废液(L)，并对它们通电而使硅粉附着于带正电的硅吸附板。接着，将硅吸附板从废液提起，从硅吸附板刮取并回收包含附着于硅吸附板的硅粉和废液的硅溶液(SF)。接着，利用干燥单元(6)使从硅吸附板刮取的硅溶液的水分干燥。 | ||
| 搜索关键词： | 回收 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种硅粉回收方法，使用加工液和磨粒来磨削固体的硅，对所排出的包含硅粉的废液进行回收，去除该废液的水分并回收该硅粉，其特征在于，所述硅粉回收方法包含如下的工序：附着工序，使阳极部和阴极部接触该废液，对该阳极部和该阴极部通电而使该硅粉附着于带正电的该阳极部；回收工序，将该阳极部从该废液提起，从该阳极部刮取附着于该阳极部的硅溶液，该硅溶液包含该硅粉和该废液；以及干燥工序，利用干燥单元使在该回收工序中从该阳极部刮取的该硅溶液的水分干燥。
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