[发明专利]一种对ITO膜进行刻蚀的刻蚀液有效
| 申请号： | 201510544291.5 | 申请日： | 2014-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN105038799B | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | 李子考 | 申请（专利权）人： | 盐城华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/00 | 分类号： | C09K13/00 |
| 代理公司： | 北京高航知识产权代理有限公司11530 | 代理人： | 赵永强 |
| 地址： | 224000 江苏省盐城市盐都*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种对ITO膜进行刻蚀的刻蚀液，由一种对ITO膜进行刻蚀的刻蚀液，其是由以下重量组分配制得到1.5重量份的1、2‑乙二磺酸，0.6重量份的三氟甲基磺酸，2.5重量份的亚乙基二胺四甲叉膦酸钠，7重量份的草酸，88.4重量份的蒸馏水。上述原料中三氟甲基磺酸是最强的有机酸，通过适量比例的各种酸混合搭配提高刻蚀速率，亚乙基二胺四甲叉膦酸钠具有极强的络合作用，可有效稳定络合各金属离子，1、2‑乙二磺酸和三氟甲基磺酸也能够与金属离子形成稳定的水溶性盐，有效解决金属离子易于与草酸沉淀形成残渣的问题，同时，该刻蚀液在刻蚀过程中不会产生气泡，大大提高蚀刻精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 进行 刻蚀 | ||
【主权项】：
一种对ITO膜进行刻蚀的刻蚀液，其是由以下重量组分配制得到：1.5重量份的1,2‑乙二磺酸，0.6重量份的三氟甲基磺酸，2.5重量份的亚乙基二胺四甲叉膦酸钠，7重量份的草酸，88.4重量份的蒸馏水。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盐城华星光电技术有限公司，未经盐城华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510544291.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
