[发明专利]用于激光系统的聚焦物镜的能移动的重量补偿悬架的装置有效
申请号: | 201510544460.5 | 申请日: | 2010-03-03 |
公开(公告)号: | CN105250071B | 公开(公告)日: | 2018-09-21 |
发明(设计)人: | 格哈德·罗布 | 申请(专利权)人: | 视乐有限公司 |
主分类号: | A61F9/008 | 分类号: | A61F9/008 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 范莉 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 一种用于激光系统(10)的聚焦物镜(12)的能移动的重量补偿悬架的装置,包括:力产生装置,该力产生装置用于产生抵消所述聚焦物镜(12)的重力的反作用力分量(G);传动装置,该传动装置将所述反作用力分量(G)传递到所述聚焦物镜(12)上并允许所述聚焦物镜的向上/向下补偿运动;引导装置,该引导装置用于能移动地引导所述聚焦物镜,以使在所述聚焦物镜(12)的向上/向下补偿运动期间所述聚焦物镜的光学轴线(O)至少保持其在空间的方位并优选地保持所述聚焦物镜的光学轴线(O)在空间的位置。 | ||
搜索关键词: | 用于 激光 系统 聚焦 物镜 移动 重量 补偿 悬架 装置 | ||
【主权项】:
1.一种用于激光系统的聚焦物镜的能移动的重量补偿悬架的装置,包括:力产生装置,该力产生装置用于产生抵消所述聚焦物镜的重量的反作用力分量;传动装置,所述传动装置为摇杆的形式,所述摇杆能围绕在所述聚焦物镜的作用点和所述力产生装置的作用点之间的转动轴线旋转,所述聚焦物镜通过枢轴颈松弛地搁在所述摇杆上,所述摇杆的一端能分离地连接到所述力产生装置,所述摇杆的另一端具有用于能分离地与所述聚焦物镜联接的轴承座,所述轴承座由所述摇杆的侧向制成的凹槽形成,所述凹槽的槽底形成所述枢轴颈的支撑表面,所述枢轴颈侧向远离所述聚焦物镜并伸入所述凹槽中,所述枢轴颈能够通过沿所述凹槽的槽底滚动或滑动而移动,以便保持所述聚焦物镜的光学轴线的方位,该传动装置将所述反作用力分量传递到所述聚焦物镜上并允许所述聚焦物镜的向上/向下补偿运动;和引导装置,该引导装置用于能移动地引导所述聚焦物镜,以使在所述聚焦物镜的向上/向下补偿运动的情况下,保持所述聚焦物镜的光学轴线的方位。
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