[发明专利]基板对位机构与基板对位方法有效
| 申请号： | 201510546477.4 | 申请日： | 2015-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN105197495B | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 杨亮;何恭育 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G13/00 | 分类号： | B65G13/00;B65G13/12 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板对位机构与基板对位方法。本发明的基板对位机构，通过在支撑柱顶部设置滚珠，可削减对位时基板与支撑柱发生相对位置移动所产生的摩擦力，避免基板背面刮伤，从而改善基板薄化不良。本发明的一种基板对位方法，通过在基板传送设备中设置上述基板对位机构，削减了对位过程中基板与支撑柱发生相对位置移动所产生的摩擦力，避免了基板背面刮伤，从而改善了基板薄化不良。本发明的另一种基板对位方法，通过在基板旋转设备中设置上述基板对位机构，削减了对位过程中基板与支撑柱发生相对位置移动所产生的摩擦力，避免了基板背面刮伤，从而改善了基板薄化不良。 | ||
| 搜索关键词： | 对位 机构 方法 | ||
【主权项】：
一种基板对位机构，其特征在于，包括数个支撑柱(1)、及位于所述数个支撑柱(1)两侧的数个对位柱(2)；所述支撑柱(1)包括本体(11)及设于所述本体(11)顶部的滚珠(12)；所述数个支撑柱(1)用于在对位过程中承载基板(3)，所述基板(3)的底面与所述滚珠(12)相接触，通过所述数个对位柱(2)分别从两侧对所述基板(3)进行夹持，从而实现对所述基板(3)的对位；所述滚珠(12)的硬度小于所述基板(3)的硬度；所述滚珠(12)可在所述支撑柱(1)的本体(11)中上升与下降。
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