[发明专利]使用光学数据监测射频发生器操作的系统、方法和设备

摘要

本发明涉及使用光学数据监测射频发生器操作的系统、方法和设备。用光学传感器监测等离子体以确定用于等离子体加工的脉冲射频信号的操作的系统和方法，系统包括：等离子体室，具有针对等离子体区域的光学传感器。射频发生器通过匹配电路耦合至等离子体室。射频定时系统耦合至射频发生器。系统控制器耦合至等离子体室、射频发生器、光学传感器、射频定时系统和匹配电路。所述系统控制器可以包括中央处理器、存储系统、成组的射频发生器设置以及光学脉冲等离子体分析器，该光学脉冲等离子体分析器耦合至光学传感器并且能确定光学传感器中接收的光学发射的状态变化的定时和/或与光学传感器中接收的光学发射的幅值对应的成组的幅值统计。

主权项

一种等离子体加工系统，其包括：等离子体室，其具有针对所述等离子体室中的等离子体区域的至少一个光学传感器；至少一个射频发生器，其通过匹配电路耦合至所述等离子体室；射频定时系统，其耦合至所述至少一个射频发生器；以及系统控制器，其耦合至所述等离子体室、所述至少一个射频发生器、所述光学传感器、所述射频定时系统和所述匹配电路，所述系统控制器包括：中央处理器；存储系统：成组的射频发生器设置；以及光学脉冲等离子体分析器，其耦合至所述光学传感器并且能确定所述光学传感器中接收的光学发射的状态变化的定时和/或与所述光学传感器中接收的光学发射的幅值对应的成组的幅值统计中的至少一个。