[发明专利]一种配向膜的制作方法和系统有效
| 申请号： | 201510547524.7 | 申请日： | 2015-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN105044989B | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 程薇 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337;G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种配向膜的制作方法和系统。本发明的制作方法包括在基板上形成配向材料膜层；将基板放置在可在水平方向上移动的承载台上，以使基板在配向过程中可随承载台在水平方向上移动；确定对配向材料膜层进行光线照射的第一照射角；第一照射角为欲照射的光线与所述基板之间的第一夹角，该第一夹角为锐角；触发承载台在水平方向上移动，并利用线偏极紫外光按照第一照射角对所述配向材料膜层进行照射，以形成具有配向功能的配向膜；本发明的制作方法在与基板的非垂直方向对配向材料膜层进行照射线偏极紫外光，以制作具有配向能力的配向膜；使入射光与反射光不相互干涉，提升了配向膜的配向能力的均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作方法 系统 | ||
【主权项】：
一种配向膜的制作方法，其特征在于，用于在基板上形成配向膜，包括如下步骤：在基板上形成配向材料膜层；将所述基板放置在可在水平方向上移动的承载台上，以使所述基板在配向过程中可随所述承载台在水平方向上移动；确定对所述配向材料膜层进行光线照射的第一照射角；所述第一照射角为欲照射的光线与所述基板之间的第一夹角，该第一夹角为锐角；触发所述承载台在水平方向上移动，并利用线偏极紫外光按照所述第一照射角对所述配向材料膜层进行照射，以形成具有配向功能的配向膜；其中所述确定对所述配向材料膜层进行光线照射的第一照射角的步骤包括：测量所述配向材料膜层上不同区域对应的配向材料膜层的厚度；根据前述测量的结果确定对所述配向材料膜层进行光线照射的第一照射角。
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