[发明专利]一种钇用Ta10W合金坩埚及其制备方法

摘要

本发明涉及一种钇用Ta10W合金坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体包括锅体和锅底，该锅底上端插入锅体一端而连接形成坩埚本体，且该连接处的锅底上端外周面与锅体端部内周面分别形成搭接面；同时该坩埚的焊接处通过电子束焊接法焊接而成。本发明中的坩埚由Ta10W合金制成，耐高温、耐腐蚀，同时该坩埚结构简单，由锅体和锅底两部分组装加工而成，可方便调整锅底的高度及厚度，从而提高坩埚的整体使用寿命，降低成本，锅体与锅底的组装过程中形成搭接面，不仅方便坩埚的加工制造，而且也可使坩埚整体结构稳固，提高成品率，该坩埚采用真空电子束焊接法焊接，避免了Ta10W合金焊接过程中吸收环境中的氮、氢、氧等气体对坩埚质量的影响，提高了成品坩埚的质量。

主权项

一种钇用Ta10W合金坩埚的加工方法，所述钇用Ta10W合金坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体包括锅体和锅底，该锅底上端插入锅体一端而连接形成坩埚本体，且连接处的锅底上端外周面与锅体端部内周面分别形成用于连接锅体与锅底的搭接面，所述搭接面沿坩埚本体高度方向的长度为5～8mm，所述锅底呈圆盆状，锅底壁厚度为1.5～2.0mm；所述搭接面之间形成有用于连接锅体与锅底的第一焊接缝，所述锅体由Ta10W合金板卷合而成且板的边沿对接面间形成有纵向的第二焊接缝，所述第一焊接缝和第二焊接缝均通过电子束焊接法焊接而成，其特征在于，所述第二焊接缝通过以下步骤形成：(1)清除Ta10W合金板边沿对接面处的油污，夹持Ta10W合金板并使对接面之间的间隙≤0.03mm，然后将其固定在电子束焊机真空室内并抽真空至10‑3Pa；(2)依次进行聚焦焊接和散焦焊接形成第二焊接缝，其中聚焦焊接的焊接工艺参数如下：电子束焦距为205～210mm，焊接电压为135～140KV，焊接电流为2～5mA，焊接速度为295～305mm/min；散焦焊接的焊接工艺参数如下：电子束焦距为250～255mm，焊接电压为135～140KV，焊接电流为3～6mA，焊接速度为275～280mm/min。