[发明专利]一种可实现精对准的多陶瓷管壳封帽夹具有效
申请号: | 201510548813.9 | 申请日: | 2015-08-31 |
公开(公告)号: | CN105140170B | 公开(公告)日: | 2017-12-22 |
发明(设计)人: | 王超;刘国文;邢朝洋;徐宇新 | 申请(专利权)人: | 北京航天控制仪器研究所 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 中国航天科技专利中心11009 | 代理人: | 王卫军 |
地址: | 100854 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种可实现精对准的多陶瓷管壳封帽夹具,包括底座、置于底座上的压板和置于压板上的支架;所述底座为板状结构,板状结构中间区域厚度大于两边,底座上中间厚度区域内阵列设置有管壳容置槽,管壳容置槽用以容置陶瓷管壳;所述压板为板状结构,其上与管壳容置槽中心相对应的位置阵列设置有压板通孔,用以在陶瓷管壳上施加配重;所述支架为板状结构,其上与压板通孔中心相对应的位置阵列设置有用于放置配重的支架通孔。本发明结构简单,易于拆装,导热性能良好,加热迅速,可实现多管壳同时封装,有利于提高芯片批量化封装能力,提高同批产品的一致性。 | ||
搜索关键词: | 一种 实现 对准 陶瓷 管壳 夹具 | ||
【主权项】:
一种可实现精对准的多陶瓷管壳封帽夹具,其特征在于,包括底座(1)、置于底座(1)上的压板(2)和置于压板(2)上的支架(3),陶瓷管壳为中间开有用于放置芯片的凹槽,四周设有与盖板焊接的台阶;所述底座(1)为板状结构,板状结构中间区域厚度大于两边,底座(1)上中间厚度区域内阵列设置有管壳容置槽(13),管壳容置槽(13)用以容置陶瓷管壳,管壳容置槽(13)的形状与陶瓷管壳的形状相适应;管壳容置槽(13)底部设置有盖板容置槽(15),其中心与管壳容置槽(13)中心一致,盖板容置槽(15)的形状与盖板的形状相适应;所述压板(2)为板状结构,其上与管壳容置槽(13)中心相对应的位置阵列设置有压板通孔(21),用以在陶瓷管壳上施加配重;所述支架(3)为板状结构,其上与压板通孔(21)中心相对应的位置阵列设置有用于放置配重的支架通孔(31),所述配重一端形状与支架通孔(31)相适应,另一端形状与压板通孔(21)相适应,配重穿过支架通孔(31)和压板通孔(21)为陶瓷管壳施压。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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