[发明专利]TEM样品安放布局有效
| 申请号： | 201510551041.4 | 申请日： | 2015-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN105277576B | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | D·富尔德 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01N1/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;陈岚 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供一种用于透射电子显微术的系统及方法。能够在透射电子显微镜中使用电子束从多个方向上检查样品。样品具有至少三个相互不平行的观察面，其中正交于每个观察面的样品厚度小于200nm。样品安放在针上，针可以围绕多于一个的轴旋转，因此所述针能够使至少三个观察面定向为垂直于用于观察的电子显微镜的电子束。 | ||
| 搜索关键词： | tem 样品 安放 布局 | ||
【主权项】：
1.一种用于在带电粒子束设备中获取样品的正交图像的方法，包括：将包括相互不平行的三个正交面的样品连接到可旋转样品支撑装置；把可旋转样品支撑装置旋转到多个角度，使得对于所述多个角度中的每一个，所述三个正交面中的不同面被暴露于并且垂直于由带电粒子束设备所生成的电子束；在所述多个角度的每个角度，对来自所述电子束的透射穿过所述三个正交面中每一个面的电子进行探测；以及，根据所探测的在所述三个正交面中每一个面透射穿过所述样品的电子生成所述样品的三个正交图像。
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