[发明专利]分光模块在审
申请号: | 201510551247.7 | 申请日: | 2008-06-05 |
公开(公告)号: | CN105606215A | 公开(公告)日: | 2016-05-25 |
发明(设计)人: | 柴山胜己;H·泰希曼;能野隆文;铃木智史;D·希勒;U·施塔克 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J3/02 | 分类号: | G01J3/02;G01J3/18;G01J3/28 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;沈娟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 分光模块(1)中,由于本体部(2)为板状,因而能够通过本体部(2)的薄型化来谋求小型化。并且,由于本体部(2)为板状,因而例如能够利用晶圆工艺来制造分光模块(1)。即,通过对作为多个本体部(2)的玻璃晶圆,以矩阵状设置透镜部(3)、衍射层(4)、反射层(6)以及光检测元件(7)设置成矩阵状,并切割该玻璃晶圆,能够制造多个分光模块(1)。如此,能够容易地大量生产分光模块(1)。 | ||
搜索关键词: | 分光 模块 | ||
【主权项】:
一种分光模块,其特征在于,具备:使光透过的本体部;分光部,对从所述本体部的规定的面向所述本体部入射的光进行分光,并向所述规定的面侧反射;光检测元件,被支撑在所述规定的面上,检测被所述分光部分光并反射的光;以及配线,形成在所述规定的面上,与所述光检测元件电连接;所述本体部具有第一光透过部件和第二光透过部件,其中,所述第一光透过部件具有所述规定的面,所述分光部被设置在所述第二光透过部件上。
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