[发明专利]化学镀银制作氮化镓基发光二极管反射镜金属层的方法在审
| 申请号： | 201510551311.1 | 申请日： | 2015-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN105226160A | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 王钦金;詹腾;马骏;郭恩卿;刘志强;伊晓燕;王军喜;李晋闽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01L33/46 | 分类号： | H01L33/46 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种化学镀银制作氮化镓基发光二极管反射镜金属层的方法，包括：选择一外延层结构，该外延层结构包括蓝宝石衬底和制作在其上的LED外延层；采用光刻的方法，在LED外延层上的LED外延结构上形成光刻胶图形，使光刻胶覆盖并保护无需镀银的LED外延结构；将蓝宝石衬底的裸露面进行保护，把外延层结构放入两种预处理液中依次浸泡；将浸泡后的外延层结构放入反应皿，倒入化学镀银溶液进行化学镀银；将镀银后的外延层结构冲洗、吹干；剥离残余的光刻胶，在LED外延结构2上形成具有图形的镀银金属反射镜，完成制备。本发明不仅具有良好的粘附性和超高的反射率，同时也能改善Ni/Ag/Pt/Au金属体系与GaN的欧姆接触。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 镀银 制作 氮化 发光二极管 反射 金属 方法 | ||
【主权项】：
一种化学镀银制作氮化镓基发光二极管反射镜金属层的方法，采用化学镀的方式在LED芯片结构中制作一层银金属，形成银反射镜金属层，具体制作过程包括：步骤1：选择一外延层结构，该外延层结构包括蓝宝石衬底和制作在其上的LED外延层；步骤2：采用光刻的方法，在LED外延层上的LED外延结构上形成光刻胶图形，使光刻胶覆盖并保护无需镀银的LED外延结构；步骤3：将蓝宝石衬底的裸露面进行保护，把外延层结构放入两种预处理液中依次浸泡；步骤4：将浸泡后的外延层结构放入反应皿，倒入化学镀银溶液进行化学镀银；步骤5：将镀银后的外延层结构冲洗、吹干；步骤6：剥离残余的光刻胶，在LED外延结构2上形成具有图形的镀银金属反射镜，完成制备。
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