[发明专利]一种具有对称结构的垂直方向耦合波导探测器有效
| 申请号： | 201510556238.7 | 申请日： | 2015-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN105044844B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 余学才;李林松;马朝阳;何传王 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G02B6/24 | 分类号： | G02B6/24;G02B6/26;H01L31/0232;G02B6/12 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 周永宏;王伟 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有对称结构的垂直方向耦合波导探测器，其特征在于，包括在衬底上自下而上依次为吸收层、下波导层、耦合层、中波导层、耦合层、上波导层和吸收层；相邻的吸收层、下波导层、耦合层与所述相邻的耦合层、上波导层和吸收层相对于中波导层对称排布。该具有对称结构的垂直方向耦合波导探测器，由于波导结构对称，使得波导中任意位置处的光场模式在基超模和一阶超模叠加组合时就能实现较好的还原，避免引入高阶波导模式的修正，有效的抑制了高阶波导模式，简化了计算模型，而且能够有效减轻因高阶波导模式引入导致的波导前端局部过热而使器件烧毁的问题；最终获得的光电流分布更加均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 吸收层 耦合层 波导模式 对称结构 耦合波导 探测器 高阶 上波导层 下波导层 波导层 波导 超模 波导结构 叠加组合 对称排布 计算模型 局部过热 光电流 位置处 引入 衬底 光场 还原 烧毁 对称 修正 | ||
【主权项】：
1.一种具有对称结构的垂直方向耦合波导探测器，其特征在于，包括在衬底上自下而上依次为下吸收层、下波导层、下耦合层、中波导层、上耦合层、上波导层和上吸收层；相邻的所述下吸收层、下波导层、下耦合层与相邻的所述上耦合层、上波导层和上吸收层相对于中波导层对称排布；所述下波导层、中波导层和上波导层的材料相同，为InxGa1‑xAsyP1‑y。
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