[发明专利]磁性退火装置有效
| 申请号： | 201510556876.9 | 申请日： | 2015-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN105386126B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 山崎满;B·克拉克;I·科尔根;G·艾利斯;I·多姆萨 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;H01F41/22 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种磁性退火装置。采用本申请，该磁性退火装置用于在磁场中对多个基板进行退火，其中，该磁性退火装置包括：横长筒状的处理容器，其用于在容纳着所述多个基板的状态下进行磁性退火处理；加热部件，其以从外部覆盖该处理容器的沿着长度方向延伸的面的至少一部分的方式设置；磁体，其以进一步从外部覆盖该加热部件的方式设置；基板保持工具，其能够在所述处理容器内保持所述多个基板；以及遮热板，其以包围该基板保持工具的至少一部分的方式设置。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 退火 装置 | ||
【主权项】：
1.一种磁性退火装置，其用于在磁场中对多个基板进行退火，其中，该磁性退火装置包括：横长筒状的处理容器，其用于在容纳着所述多个基板的状态下进行磁性退火处理；加热部件，其以从外部覆盖该处理容器的沿着长度方向延伸的面的至少一部分的方式设置；磁体，其以进一步从外部覆盖该加热部件的方式设置；基板保持工具，其能够在所述处理容器内保持所述多个基板；以及遮热板，其位于所述加热部件和所述基板保持工具之间，以包围该基板保持工具的至少上表面和下表面的方式设置，用于反射来自所述加热部件的热。
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