[发明专利]一种激光直接成像设备图形拼接误差的检测方法在审
| 申请号： | 201510561156.1 | 申请日： | 2015-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN105115426A | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 张磊;王晓光 | 申请（专利权）人： | 合肥芯硕半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种激光直接成像设备图形拼接误差的检测方法，其包括以下步骤：向激光直接成像设备输入拼接误差检测图形的，安装并调试基板的，对基板进行曝光成像，CCD图像处理系统抓取左侧圆心坐标，CCD图像处理系统抓取右侧圆心坐标，最后得到拼接误差值。本发明通过空间光调制器成像在覆有感光干膜的基板上，通过激光直接成像设备自带的CCD图像处理系统分别抓取图形拼接位置两边的圆心坐标，计算两边坐标在X,Y方向的误差，此误差即为拼接误差。此方法省去了化学显影和显微镜测量步骤，极大的提高了检测效率和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 直接 成像 设备 图形 拼接 误差 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种激光直接成像设备图形拼接误差的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：向激光直接成像设备输入一幅拼接误差检测图形，为所述拼接误差检测图形建立一X‑Y直角坐标系，所述拼接误差检测图形包括两个直径大小且圆心坐标位置不同的圆；S2:在所述激光直接成像设备的曝光工作台安置一块基底；S3：通过所述激光直接成像设备将所述拼接误差检测图形投射到所述基底；S4：将投影成像后的所述拼接误差图形中的一个圆通过曝光工作台移动到CCD图像传感器下方，通过CCD图像处理系统抓取圆心位置；S5：将投影成像后的所述拼接误差图形中的另一个圆通过曝光工作台移动到CCD图像传感器下方，通过CCD图像处理系统抓取圆心位置；S6：获取所述步骤S4与S5两个圆的圆心位置之间的坐标差，并跟S1中所述拼接误差检测图形中两圆心位置之间的坐标差比较，获得拼接误差值。
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