[发明专利]垂直紫外线发光装置及其制造方法在审
申请号: | 201510561176.9 | 申请日: | 2015-09-06 |
公开(公告)号: | CN105428487A | 公开(公告)日: | 2016-03-23 |
发明(设计)人: | 黄晶焕;韩昌锡;张彰槿;金华睦 | 申请(专利权)人: | 首尔伟傲世有限公司 |
主分类号: | H01L33/36 | 分类号: | H01L33/36;H01L33/44;H01L33/30 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 马翠平;王秀君 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开了一种垂直紫外线发光装置及其制造方法。所述垂直紫外线发光装置包括:包括A1的p型半导体层;设置在p型半导体层上且包括Al的有源层;设置在有源层上且包括Al的n型半导体层;设置在n型半导体层上且掺杂有n型的金属接触层;以及形成在金属接触层上的衬垫,其中金属接触层具有比n型半导体层的Al含量低的Al含量。根据本发明的示例性实施例,金属接触层形成在n型半导体层上以允许金属接触层而不是包括AlGaN的n型半导体层充当接触层,从而有效地提高了垂直紫外线发光装置的n型接触特性。 | ||
搜索关键词: | 垂直 紫外线 发光 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种垂直紫外线发光装置,所述垂直紫外线发光装置包括:p型半导体层,包括Al;有源层,设置在所述p型半导体层上且包括所述Al;n型半导体层,设置在所述有源层上且包括所述Al;金属接触层,设置在所述n型半导体层上且掺杂有n型;以及衬垫,形成于所述金属接触层上,其中所述金属接触层具有比所述n型半导体层的Al含量低的Al含量。
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