[发明专利]一种在玻璃基板上重新制作扫描线的方法

摘要

本发明提出了一种在玻璃基板上重新制作扫描线的方法，其包括步骤一向玻璃基板上的对位记号凹槽内填充不透光材料以在对位记号凹槽内形成基板标记；步骤二将扫描线掩膜上的且透光的第一对位标记与基板标记对应对齐。采用本方法重新在玻璃基板上制作扫描线，在玻璃基板上不会出现重影的现象。由此不会出现由于玻璃基板上有重影而导致曝光机无法抓取新对位记号的现象。

主权项

一种在玻璃基板上重新制作扫描线的方法，包括：步骤一：向所述玻璃基板上的对位记号凹槽内填充不透光材料以在所述对位记号凹槽内形成基板标记；步骤二：将扫描线掩膜上的且透光的第一对位标记与所述基板标记对应对齐，所述方法还包括最先的预备步骤，所述预备步骤包括：对所述玻璃基板上的原第一金属层进行图形化处理后形成原对位记号和原扫描线，采用含有氟化氢的刻蚀液对原第一金属层进行刻蚀，直至在所述玻璃基板上的原对位记号处形成所述对位记号凹槽。