[发明专利]丝网印刷用网板、光刻方法及其应用

摘要

本发明涉及一种丝网印刷用的网板、光刻方法及其应用，丝网第一方向上间隔区宽度大于第一方向丝线区丝线之间距离；通过在丝网区按照预定距离设置较宽的间隔区，光刻前，根据该预定距离，可以预先在掩膜版上设置每个槽线图形的位置，曝光前，将掩膜版直接覆盖在丝网上，使掩模版上槽线对应于丝网上相应间隔区的位置进行光刻并显影处理。从而解决了光刻前掩模版上制备槽线图形位置时设置不便的问题，大幅提高了在用于太阳能电池制造等领域的网板中制作槽线的效率，同时，因为丝网织造时预先设定了间隔区的位置，这样在掩模版上就可以预先制备槽线图形的位置，就实现了不同网板可以使用同一张掩模版的方法，从而降低网板的制造成本。

主权项

一种光刻方法，其特征在于，包括：提供丝网，丝网包括第一方向的丝线和第二方向的丝线；其中，第一方向上设有多个间隔区和丝线区，多个间隔区之间按照一种或多种距离设置，并且间隔区内不设有第一方向的丝线；间隔区与丝线区间隔设置，其中，第一方向上，间隔区宽度大于第一方向丝线区丝线之间距离；丝网上涂布有光敏胶层；提供掩膜版，掩膜版上设有制作槽线的图形，将掩膜版贴靠在丝网上，使制作槽线的图形位于间隔区上方；光照，未被图形遮挡的部分的光敏胶固化，移除掩膜版，去除未固化光敏胶，形成槽线。