[发明专利]一种新型谐振式薄膜热电变换器的结构及制作方法在审
| 申请号： | 201510564464.X | 申请日： | 2015-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN105236344A | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | 韩建强;厉森;程冰;尹伊君 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;G01R19/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型谐振式薄膜热电变换器的结构与制作方法。薄膜热电变换器由制作在同一衬底(1)上的加热电阻(2)、微桥谐振器A(3)、微桥谐振器B(4)组成。在加热电阻(2)通电后产生并辐射的热量引起微桥谐振器A(3)温度升高，其轴向压应力增加或拉应力下降，使得微桥谐振器A(3)的谐振频率下降。而微桥谐振器B(4)不感受加热电阻(2)辐射的热量，其谐振频率仅受衬底(1)和环境温度的影响，通过测量微桥谐振器A(3)和微桥谐振器B(4)谐振频率的差值即可反映出加载在加热电阻(2)上的输入电压或电流的大小。本发明所涉及的新型谐振式薄膜热电变换器具有以下优点：加热电阻(2)和微桥谐振器A(3)、微桥谐振器B(4)制作在同一衬底(1)上，简化了器件制作工艺和封装工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 谐振 薄膜 热电 变换器 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
一种新型谐振式薄膜热电变换器，其特征在于：薄膜热电变换器由制作在同一衬底(1)上的加热电阻(2)、微桥谐振器A(3)和微桥谐振器B(4)组成；微桥谐振器A(3)、微桥谐振器B(4)谐振频率的差值反映出加载在加热电阻(2)上的输入电压或电流的大小。
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