[发明专利]一种基于单振镜匀速扫描的均匀线光斑光路系统

摘要

本发明提供了一种基于单振镜匀速扫描的均匀线光斑光路系统，可获得上百毫米范围内任意长度的均匀能量分布的线光斑光路结构，由离轴抛物镜、旋转振镜、斜平面反射镜、斜球面反射镜组成，适用于大范围功率的光纤输出类激光器，CO₂激光器等大范围激光器，能够获得聚焦光束传输方向一致、聚焦光斑位置基本共面的能量分布基本均匀的线光斑，聚焦镜焦深较长，适用于二维平面或三维曲面的高速大面积激光淬火、激光熔覆以及激光清洗。

主权项

一种基于单振镜匀速扫描的均匀线光斑光路系统，可获得上百毫米范围内任意长度的均匀能量分布的线光斑光路结构，其特征在于：由离轴抛物镜、旋转振镜、斜平面反射镜、斜球面反射镜组成，所述离轴抛物镜、所述旋转振镜、所述斜平面反射镜、所述斜球面反射镜中心位于一直线上，所述离轴抛物镜的平面紧邻激光器的出光口，所述旋转振镜位于所述离轴抛物镜一侧，所述斜平面反射镜位于聚焦焦点处，所述斜球面反射镜位于所述旋转振镜与所述斜平面反射镜之间。