[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀设备

摘要

本发明涉及蒸镀技术领域，公开了一种蒸镀坩埚及蒸镀设备，以提高蒸镀材料利用率，提高蒸镀效率。蒸镀坩埚包括坩埚本体以及与所述坩埚本体相连通的坩埚口，所述坩埚口的侧壁分布有多个惰性气体通入喷嘴。将该蒸镀坩埚应用于蒸镀设备中，通过多个惰性气体通入喷嘴向坩埚口内通入惰性气体，可以使惰性气体分子与坩埚口内的蒸镀气体分子产生碰撞，从而增加蒸镀气体分子向上方运动的动能，进而使得飞向基板表面并沉积的蒸镀气体分子大大增加。相比现有技术，该方案可以提高蒸镀材料利用率，提高蒸镀效率。

主权项

一种蒸镀坩埚，其特征在于：包括坩埚本体以及与坩埚本体相连通的坩埚口，所述坩埚口的侧壁分布有多个惰性气体通入喷嘴；所述坩埚口呈漏斗状，所述多个惰性气体通入喷嘴斜向上朝向坩埚口的顶部；所述多个惰性气体通入喷嘴沿高度方向分为至少两层，每层的惰性气体通入喷嘴水平环列分布，较高一层惰性气体通入喷嘴与水平方向的夹角，大于较低一层惰性气体通入喷嘴与水平方向的夹角。