[发明专利]一种激光直接成像设备成像位置误差的检测方法在审
| 申请号： | 201510570679.2 | 申请日： | 2015-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN105093856A | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 陆敏婷 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所 34115 | 代理人： | 娄岳;陈进 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光直接成像设备成像位置误差的检测方法，将拼接误差检测图形输入激光直接成像设备，通过空间光调制器成像在覆有感光干膜的基板上，通过激光直接成像设备自带的CCD图像处理系统分别抓取图形拼接位置两边的圆心坐标，计算两边坐标在X,Y方向的误差，此误差即为拼接误差，此方法省去了化学显影和显微镜测量步骤，极大的提高了检测效率和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 直接 成像 设备 位置 误差 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种激光直接成像设备成像位置误差的检测方法，其特征在于，包括如下步骤：1)向激光直接成像设备输入拼接误差检测图形，该拼接误差检测图形包括两个直径大小不同的圆；2)安装并调试基板；3)对基板进行曝光成像；4)CCD图像处理系统抓取左侧圆心坐标(x1,y1)；5)CCD图像处理系统抓取右侧圆心坐标(x2,y2)；6)计算拼接误差值，实际拼接误差值在X方向计算公式为x0＝x2‑x1‑△x，实际拼接误差值在Y方向计算公式为y0＝y2‑y1‑△y；其中△x和△y分别为步骤1)所述拼接误差检测图形中两个圆在X方向和Y方向上的圆心间距。
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