[发明专利]一种有机EL元件蒸发镀膜装置在审
申请号: | 201510571896.3 | 申请日: | 2015-09-09 |
公开(公告)号: | CN106521426A | 公开(公告)日: | 2017-03-22 |
发明(设计)人: | 任海 | 申请(专利权)人: | 四川虹视显示技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26;C23C14/12 |
代理公司: | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙)51227 | 代理人: | 王伟 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种有机EL元件蒸发镀膜装置,包括密闭的真空腔,真空腔的底部设有用于放置有机物的容器,容器的上端具有开口,基板固定在容器的开口上方,所述容器周围缠绕有发热线,发热线与容器外壁之间间隔有一定距离,发热线的外围设有屏蔽膜,用于反射发热线发出的热离子。本发明所提供的有机EL元件蒸发镀膜装置,发热线通过交流电源装置加热到一定温度,热量以热离子的方式热辐射出去,并把热量传到容器从而加热有机物使有机物蒸发;与传统的蒸发镀膜装置中,发热线与容器接触的方式相比,本发明容器的温度增加会更加的均匀,因而能够稳定蒸发有机物,提高镀膜效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 有机 el 元件 蒸发 镀膜 装置 | ||
【主权项】:
一种有机EL元件蒸发镀膜装置,其特征在于:包括密闭的真空腔(5),真空腔(5)的底部设有用于放置有机物(100)的容器(40),容器(40)的上端具有开口,基板(10)固定在容器(40)的开口上方,所述容器(40)周围缠绕有发热线(70),发热线(45)与容器(40)外壁之间间隔有一定距离,发热线(70)的外围设有屏蔽膜(110),用于反射发热线(70)发出的热离子。
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