[发明专利]单晶硅生长分区式不间断稳定供电技术

摘要

本发明提供一种提拉法单晶硅生长分区式不间断稳定供电技术。市电与单晶生长炉完全断开，只通过本发明供电技术供电。硅单晶生长炉用电分成直流和交流两个区域，直流区域为加热器和控制系统，交流区域为炉体冷却、晶体旋转、坩埚旋转等辅助系统。本发明主体分成四个部分，第一部分为市电及备用电源输入、整流稳定及充电部分，且通过升压将电压提高12%；第二部分为电池组部分，采用锂离子电池做为长效型电池存储单元；第三部分为直流输出部分，是主功率输出部分，具备电压和电流的双重供电调节能力，分为多级体系，为加热器和控制系统供电；第四部分为交流输出部分，采用逆变器输出，为冷却水等辅助系统供电，稳定性高，电压及频率波动小。

主权项

一种提拉法单晶硅生长分区式不间断稳定供电技术；市电与单晶生长炉完全断开，只通过本发明供电技术供电；硅单晶生长炉用电分成直流和交流两个区域，直流区域为加热器和控制系统，交流区域为炉体冷却、晶体旋转、坩埚旋转等辅助系统；本发明单晶硅生长不间断稳定供电技术主体分成四个部分，第一部分为市电及备用电源输入、整流稳定及充电部分，且通过升压将电压提高12%；第二部分为电池组部分，采用锂离子电池做为长效型电池存储单元，可持续单独供电30min；第三部分为直流输出部分，是主功率输出部分，具备电压和电流的双重供电调节能力，分为多级体系，为加热器和控制系统供电；第四部分为交流输出部分，采用逆变器输出，为冷却水等辅助系统供电。