[发明专利]一种高温抗氧化涂层的复合沉积方法

摘要

本发明公开了一种用于高温抗氧化涂层的复合沉积方法，包括下列步骤：(1) 将需沉积涂层的基底放置于反应室内，将反应室抽真空；(2) 利用加热装置对基底加热并保持相应加热温度；(3) 利用原子层沉积技术在基底上沉积一层所需的高温抗氧化层；(4) 利用化学气相沉积技术沉积一层与步骤（3）中同种材料的高温抗氧化层；(5) 重复上述步骤(3)至(4)，直到高温抗氧化层的厚度满足要求为止。本发明利用原子层沉积涂层的高致密性，实现对化学气相沉积薄膜中裂纹、微孔等缺陷的阻隔，防止各类缺陷的遗传和发展，使涂层具有很好的抗氧化性能，同时，沉积时间也在可实现的合理范围中。

主权项

1.一种用于高温抗氧化涂层的复合沉积方法，其特征在于，包括下列步骤：(1) 将需沉积涂层的基底放置于反应室内，将反应室抽真空，真空度范围大于等于1×10‑3Pa、小于等于5×10‑3Pa；(2) 利用加热装置对基底加热并保持相应加热温度，加热温度依据所沉积材料选取；(3) 利用原子层沉积技术在基底上沉积一层所需的原子层沉积高温抗氧化层，原子层沉积高温抗氧化层厚度范围大于等于0.1μm、小于等于0.2μm；(4) 利用化学气相沉积技术沉积一层与步骤（3）中同种材料的化学气相沉积高温抗氧化层，化学气相沉积高温抗氧化层厚度范围为大于等于1μm、小于等于2μm；(5) 交替重复上述步骤(3) 至(4)，直到高温抗氧化层的厚度满足要求为止；所述加热温度选取范围大于等于600℃、小于等于900℃。