[发明专利]坩埚结构有效
申请号: | 201510580614.6 | 申请日: | 2015-09-11 |
公开(公告)号: | CN105088147B | 公开(公告)日: | 2017-09-26 |
发明(设计)人: | 赵德江;王浩 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人: | 彭久云 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种坩埚结构,包括坩埚本体和坩埚盖,其中,所述坩埚本体包括底壁和坩埚侧壁,所述坩埚侧壁的一端与所述坩埚底壁相连,所述坩埚侧壁的另一端设置有所述坩埚盖,所述坩埚盖与所述坩埚的轴线方向的夹角为锐角,在所述坩埚盖上设有开口结构。采用本发明的坩埚,可有效扩大蒸镀面积,提高蒸镀均一性。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 结构 | ||
【主权项】:
一种坩埚结构,包括坩埚本体和坩埚盖,其中,所述坩埚本体包括坩埚底壁和筒状坩埚侧壁,所述坩埚侧壁的一端与所述坩埚底壁相连,所述坩埚侧壁的另一端设置有所述坩埚盖,所述坩埚盖与所述坩埚的轴线方向的夹角为锐角,在所述坩埚盖上设有开口结构,所述坩埚盖与所述坩埚的轴线方向的夹角范围是30°~60°。
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