[发明专利]冲压式裂片系统有效

专利信息
申请号: 201510582761.7 申请日: 2015-09-14
公开(公告)号: CN105161461B 公开(公告)日: 2018-03-23
发明(设计)人: 段中红;韩晓翠;曹喜平;康建;梁旭东 申请(专利权)人: 圆融光电科技股份有限公司
主分类号: H01L21/78 分类号: H01L21/78;H01L21/67
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 代理人: 宋扬,黄健
地址: 243000 安徽省马鞍*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提供一种冲压式裂片系统,包括冲击板、凹槽板和控制模块;冲击板上安装有冲击待分割圆片的冲击头,冲击头至少为一个,冲击头均匀分布在冲击板上;凹槽板上设置有与冲击头匹配的凹槽,凹槽至少为一个,凹槽均匀分布在凹槽板上;冲击头和凹槽的个数均与待分割圆片上晶粒的个数相同;控制模块用于控制冲击板的冲击头冲击放在凹槽板上的待分割圆片,以及控制冲击头冲击待分割圆片到凹槽板的凹槽。本发明提供的冲压式裂片系统,能够提高裂片生产效率,进而提高裂片产品良率。
搜索关键词: 冲压 裂片 系统
【主权项】:
一种冲压式裂片系统,其特征在于,包括:冲击板、凹槽板和控制模块;所述冲击板上安装有冲击待分割圆片的冲击头,所述冲击头至少为一个,所述冲击头均匀分布在所述冲击板上;所述凹槽板上设置有与所述冲击头匹配的凹槽,所述凹槽至少为一个,所述凹槽均匀分布在所述凹槽板上;所述冲击头和所述凹槽的个数均与待分割圆片上晶粒的个数相同;所述控制模块用于控制所述冲击板的冲击头冲击放在所述凹槽板上的待分割圆片,以及控制所述冲击头冲击所述待分割圆片到所述凹槽板的凹槽;所述冲击板上还设置有第一图像采集单元和第一位置控制器;所述凹槽板上还设置有第二图像采集单元和第二位置控制器;所述第一图像采集单元和所述第二图像采集单元均用于采集所述待分割圆片上晶粒的位置,并分别将采集的所述晶粒的位置传输给所述控制模块;所述控制模块根据所述第一图像采集单元和所述第二图像采集单元采集的所述晶粒的位置控制所述第一位置控制器调整所述冲击板的位置,以及控制所述第二位置控制器调整所述凹槽板的位置,将所述冲击板、所述待分割圆片和所述凹槽板三者的中心对准。
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