[发明专利]一种硅料的清洗液及其清洗方法在审
| 申请号： | 201510584155.9 | 申请日： | 2015-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN105110336A | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 刘耀峰 | 申请（专利权）人： | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 牟彩萍 |
| 地址： | 214183 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅料的清洗液，由浓度38%盐酸和浓度65%硝酸按体积比为（6.5-9）：1组成的混合酸洗液。按本发明清洗液和本发明方法操作，硅料中的各类金属物都能全部清除，确保硅料的纯度，达到后续产品的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种硅料的清洗液，其特征在于：由浓度38%盐酸和浓度65%硝酸按体积比为（6.5‑9）：1组成的混合酸洗液。
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