[发明专利]照明光学设备、曝光装置和制造物品的方法有效
| 申请号： | 201510591980.1 | 申请日： | 2015-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN105446085B | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 须田广美 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/09 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及照明光学设备、曝光装置和制造物品的方法。照明光学设备使用来自光源的光来照明待照明面R。照明光学设备包括：光学积分器，配置成通过使从入射端面入射的光在内表面反射多次来使光学强度分布在出射端面上是均匀的；以及光束形成单元，配置成将来自其中聚光镜以相对于光轴的第一角度会聚来自光源的光的焦点位置的光束转换成将以相对于光轴的大于第一角度θ |
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| 搜索关键词： | 照明 光学 设备 曝光 装置 制造 物品 方法 | ||
【主权项】：
1.一种使用来自光源的光来照明待照明面的照明光学设备，其特征在于，该照明光学设备包括：一个光学积分器，成像光学系统，配置成使包括如下焦点的面与所述一个光学积分器的入射端面具有光学共轭关系，在所述焦点处，聚光镜以相对于从光源指向待照明面的光轴的第一角度会聚来自光源的光，并且其中，成像光学系统将来自所述焦点的光转换成要以相对于光轴的大于第一角度的第二角度会聚到所述一个光学积分器的入射端面上的光，其中，所述一个光学积分器使从入射端面入射的光在内表面反射多次并且射出从入射端面入射的光；并且其中，待照明面是用来自所述一个光学积分器的光照明的。
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