[发明专利]一种扫描电镜样品台定位装置及其定位方法

摘要

本发明公开了一种扫描电镜样品台定位装置及其定位方法。本发明的定位装置包括摄像头、图像采集系统调节架、图像采集系统基台、样品台座、定位样品、图像控制器和数据处理及输出系统；本发明通过引入定位样品台，结合图像采集与处理过程，采用扫描电镜样品台坐标系标定方法，实现了样品台上不同样品位置的定位，省去了在扫描电镜小视野中通过小范围移动样品台来进行样品寻找和定位的繁琐且易出错的过程，实现样品的准确、快速定位，极大提高了扫描电镜实验效率，能够为扫描电镜用户节省大量样品搜索与定位所花费的时间与费用。

主权项

一种扫描电镜样品台定位装置，其特征在于，所述定位装置包括：摄像头、图像采集系统调节架、图像采集系统基台、样品台架、定位样品台、图像控制器和数据处理及输出系统；其中，在图像采集系统基台上分别安装样品台架和图像采集系统调节架；在样品台架上安装定位样品台；在图像采集系统调节架上正对着定位样品台的位置安装摄像头，通过图像采集系统调节架实现摄像头的高度调节和水平调节；所述摄像头通过数据传输线连接至图像控制器，采集定位样品台的图像数据；所述图像控制器再将图像数据传输至数据处理及输出系统；所述数据处理及输出系统对采集到的定位样品台的图像进行局域坐标系标定、扫描电镜样品台坐标系原点位置校正以及样品位置坐标计算及输出；所述定位样品台包括：固定支杆、样品台板、十字定位线和两个定位孔；其中，所述固定支杆与样品台架中的样品台固定板上的开孔相互配合，所述样品台板通过固定支杆固定在样品台固定板上；所述样品台板上刻划有两条相互垂直的定位线，构成十字定位线，十字定位线的交叉点在样品台板的中心；在其中一条定位线上并且位于另一条定位线的两侧开设有两个定位孔，两个定位孔的中心间距离为预先设定的标准值。