[发明专利]一种微束能量色散的X射线衍射仪及其使用方法

摘要

本发明涉及一种微束能量色散的X射线衍射仪，包括：X射线管，多毛细管微汇聚X光透镜，衍射小孔，样品，二维样品台，X射线探测器，探测器支架，电子学系统，计算机和控制系统；其中，所述样品置于二维样品台上；所述X射线管，多毛细管微汇聚X光透镜和衍射小孔位于二维样品台的一侧斜上方，所述X射线管，多毛细管微汇聚X光透镜和衍射小孔位于同一直线上并与二维样品台夹角为30°；所述X射线探测器位于二维样品台的另一侧成一夹角α并安装在探测器支架上；所述X射线探测器依次与电子学系统，计算机电连接；所述控制系统分别与计算机，探测器支架和二维样品台电连接，可以测量小样品或样品微区、探测物相的分布、测量快速、设备体积小并且可以实现样品二维扫描。

主权项

一种微束能量色散的X射线衍射仪，其特征在于，所述衍射仪包括：X射线管(1)，多毛细管微汇聚X光透镜(2)，衍射小孔(3)，样品(4)，二维样品台(5)，X射线探测器(6)，探测器支架(7)，电子学系统(8)，计算机(9)和控制系统(10)；其中，所述样品(4)置于二维样品台(5)上；所述X射线管(1)，多毛细管微汇聚X光透镜(2)和衍射小孔(3)位于二维样品台(5)的一侧斜上方，所述X射线管(1)，多毛细管微汇聚X光透镜(2)和衍射小孔(3)位于同一直线上并与二维样品台(5)夹角为30°；所述X射线探测器(6)位于二维样品台(5)的另一侧成一夹角α并安装在探测器支架(7)上；所述X射线探测器(6)依次与电子学系统(8)，计算机(9)电连接；所述控制系统(10)分别与计算机(9)，探测器支架(7)和二维样品台(5)电连接。