[发明专利]被加工物的磨削方法

摘要

本发明提供被加工物的磨削方法。被加工物的磨削方法包括保持步骤、高度测定步骤和磨削步骤。在保持步骤中，在保持单元(10)上隔着支撑板(M)保持被加工物(W)。在高度测定步骤中，使用高度测定单元(40)，使接触针(43)接触支撑板(M)的上表面(Ma)和被加工物(W)的背面(WR)。在高度测定步骤中，使高度测定单元(40)与保持单元(10)相对移动，并通过测定支撑板(M)的上表面(Ma)的高度的接触针(43)测定被加工物(W)的背面(WR)的高度。在磨削步骤中，根据在高度测定步骤中测定的高度对被加工物(W)的厚度进行计算，将被加工物(W)磨削至计算出的被加工物(W)的厚度成为期望厚度为止。

主权项

一种被加工物的磨削方法，磨削被加工物组件的被加工物的上表面而使该被加工物变薄，该被加工物组件由该被加工物和支撑板构成，该支撑板具有尺寸大于该被加工物的尺寸的上表面，并在该上表面固定被加工物，该磨削方法的特征在于，包括：保持步骤，在具有保持面的保持单元上隔着该支撑板保持被加工物；高度测定步骤，在实施了该保持步骤后，使用高度测定单元，使接触针分别接触由该保持单元保持的该支撑板的未固定有被加工物的区域的上表面和隔着该支撑板而由该保持单元保持的被加工物的上表面，来测定高度，其中，该高度测定单元使该接触针接触测定对象物的表面而测定该测定对象物的高度；以及磨削步骤，在实施了该高度测定步骤后，根据在该高度测定步骤中测定出的高度对被加工物的厚度进行计算，通过磨削单元磨削被加工物，直到计算出的被加工物的厚度成为期望厚度为止，在该高度测定步骤中，使该高度测定单元与该保持单元相对移动，通过测定该支撑板的上表面的高度的该接触针来测定被加工物的上表面的高度。