[发明专利]一种异质结太阳能电池及其制备方法、表面钝化方法

摘要

本发明公开了一种异质结太阳能电池及其制备方法、表面钝化方法，用以使得本征层充分退火，提升钝化效果，同时避免掺杂层P层中硼原子的扩散，从而提升电池转换效率，提高电池性能。所述异质结太阳能电池的表面钝化方法，包括在晶体硅片第一侧表面上沉积第一本征层I层，对所述第一本征层I层进行退火处理；在经过退火处理的第一本征层I层表面上沉积掺杂层P层。

主权项

一种异质结太阳能电池的表面钝化方法，其特征在于，包括：在晶体硅片第一侧表面上沉积第一本征层I层，对所述第一本征层I层进行退火处理；在经过退火处理的第一本征层I层表面上沉积掺杂层P层；其中，对所述第一本征层I层进行退火处理，包括：在晶体硅片第一侧表面第一本征层I层形成和晶体硅片第二侧表面第二本征层I层形成之间进行退火；或者在晶体硅片第一侧表面第一本征层I层形成和晶体硅片第二侧表面第二本征层I层形成之后、掺杂层P层形成之前进行退火；所述晶体硅片第一侧表面与第二侧表面相对；其中，对所述第一本征层I层进行退火处理的温度大于或等于150℃且小于或等于300℃。