[发明专利]一种直线电机、运动台及光刻装置有效
| 申请号： | 201510607738.9 | 申请日： | 2015-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN106549550B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 张霖;胡兵;季汉川 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | H02K41/02 | 分类号： | H02K41/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种直线电机、运动台及光刻装置，所述直线电机包括沿Z轴方向平行设置的磁钢阵列以及位于两所述磁钢阵列之间的三相线圈，所述磁钢阵列由若干沿X轴方向平行排列的磁钢组成，所述磁钢阵列沿Y轴方向分为两排并行排列的磁钢组，同一排的相邻磁钢间隔τ，一所述磁钢组中的磁钢和另一所述磁钢组中与其相邻的磁钢沿X轴方向错位排列。与现有技术相比，发明在保留直线运动功能的同时，多出一个可控的旋转自由度，可以额外实现旋转自由度的运动。本发明电机适用于代替采用两个直线电机差动实现小范围旋转自由度的工作场合，在节省一个直线电机的情况下，同样实现直线与旋转自由度功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直线 电机 运动 光刻 装置 | ||
【主权项】：
1.一种直线电机，包括沿Z轴方向平行设置的磁钢阵列以及位于两所述磁钢阵列之间的三相线圈，所述磁钢阵列由若干沿X轴方向平行排列的磁钢组成，其特征在于，所述磁钢阵列沿Y轴方向分为两排并行排列的磁钢组，同一排的相邻磁钢间隔τ，一所述磁钢组中的磁钢和另一所述磁钢组中与其相邻的磁钢沿X轴方向错位排列。
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