[发明专利]一种金属及其氧化物核壳结构的微纳米材料的制备方法有效
| 申请号： | 201510608599.1 | 申请日： | 2015-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN105154812B | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 罗坚义;李宇东;曾庆光;谭慎樑;莫希伟 | 申请（专利权）人： | 五邑大学 |
| 主分类号： | C23C8/12 | 分类号： | C23C8/12 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 卢娟 |
| 地址： | 529000 广东省江门市蓬江*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属及其氧化物核壳结构的微纳米材料的制备方法，包括以下步骤：步骤S1：将尺寸为10μm或以下的金属单元摆放在基片上，并使金属单元的周围具有供金属氧化物生长的空间，该生长空间的大小至少与金属氧化物的微纳米结构完整生长后所占据的空间大小相当；步骤S2：通入氧气，将基片加热并保温，使基片上的金属单元生长出金属氧化物的微纳米结构。相对于现有技术中利用金属薄膜的定域制备方法，往往制备出粘连的氧化钨微纳米结构，本发明通过在金属单元周围设置生长空间，使氧化物微纳米结构可完整生长，制备所得的微纳米结构形貌确定、不粘连，比表面积大、量子效应明显、结晶度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 及其 氧化物 结构 纳米 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种金属及其氧化物核壳结构的微纳米材料的制备方法，其特征在于包括以下步骤：步骤S1：将尺寸为10μm或以下的多个金属单元，通过点胶、电泳、磁场或机械手摆放在基片上，并使金属单元的周围具有供金属氧化物生长的空间，该生长空间的大小至少与金属氧化物的微纳米结构完整生长后所占据的空间大小相当；步骤S2：通入氧气，将基片加热并保温，使基片上的金属单元生长出金属氧化物的微纳米结构；其中，步骤S1中，所述金属单元的摆放位置的误差范围控制在1‑10μm以内，相邻金属单元间的间隔距离为3μm或以上；步骤S2中，在5Pa的真空条件下，将基片置于惰性气体与氧气的混合气体中加热至1000～1200℃，并保温5‑15分钟后降至室温，其中氧气流量为1.5‑2.5sccm，惰性气体流量是100‑200sccm，或在空气条件下加热基片。
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