[发明专利]辊涂机

摘要

本文公开了具有再循环回路的辊涂机。在搅拌器单元中处理来自辊涂机的废涂布材料，所述搅拌器单元含有例如一个或多个超声波换能器以及任选过滤单元和/或温度控制单元，以产生经再处理的涂布溶液，如经再处理的溶胶‑凝胶前体溶液。还公开了包括清洁单元的预防性维护模块，所述清洁单元被设计成啮合并清洁辊涂机中的施涂器和/或计量辊。

主权项

一种利用辊涂机在基板上形成膜的方法，所述方法包括：在由施涂辊和计量辊形成的间隙中供应涂布流体，其中所述涂布流体位于储槽中，且包括溶胶‑凝胶前体或从溶胶‑凝胶前体衍生出的再处理的涂布流体中的至少一种；在所述施涂辊上形成一层所述涂布流体；将所述一层涂布流体的的至少一部分从所述施涂辊施转移到所述基板上，从而在所述基板上形成所述膜；将在所述辊涂机的操作期间产生的过剩流体接收到容器中；将所述过剩流体从所述容器转移到再循环回路，且在所述再循环回路中处理过剩流体，以形成所述再处理的涂布流体；其中所述再循环回路包括搅拌系统；其中所述搅拌系统包括至少两个超声波换能器；其中处理所述过剩流体包括：利用基于通过所述再循环回路的所述过剩流体的粘度和速度而选择的至少两个不同的频率，而操作所述至少两个超声波换能器；且其中操作所述至少两个超声波换能器在所述过剩流体中产生一个或多个相位干扰，逆转所述过剩流体的聚合，使得所述流体中没有聚合核，从而形成所述再处理的涂布流体；以及使所述再处理的涂布流体从所述再循环回路中流出，并进入所述储槽中。