[发明专利]一种掩膜板的固定组件有效
申请号: | 201510609112.1 | 申请日: | 2015-09-22 |
公开(公告)号: | CN105039907B | 公开(公告)日: | 2018-08-21 |
发明(设计)人: | 邹成 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人: | 张少辉;刘华联 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种掩膜板的固定组件,该固定组件包括:带有蒸镀区域的框架,所述框架用于固定覆盖所述蒸镀区域上的掩膜板;可拆卸式设在所述框架上的且穿过所述蒸镀区域以用于支撑所述掩膜板的支撑条。根据本发明的掩膜板的固定组件能够缩减掩膜板的变形程度,促使蒸镀完成后形成的固态薄膜的形状与预期的形状趋近一致。 | ||
搜索关键词: | 一种 掩膜板 固定 组件 | ||
【主权项】:
1.一种掩膜板的固定组件,包括:带有中空的蒸镀区域的框架,所述框架用于固定覆盖在所述蒸镀区域上的掩膜板,所述掩膜板与所述框架的侧面贴合固定;可拆卸式设在所述框架上的且穿过所述蒸镀区域以用于支撑所述掩膜板的支撑条;其中,所述框架为由一对横梁和一对纵梁组成的矩形框架,在两个所述纵梁和/或两个横梁均设有用于容纳所述支撑条的端部的定位槽组,位于所述纵梁上的定位槽组由沿着纵向间隔开的多个定位槽组成,并且两个所述纵梁上的定位槽组关于所述蒸镀区域对称,位于横梁上的定位槽组由沿着横向间隔开的多个定位槽组成,并且两个所述横梁上的定位槽组关于所述蒸镀区域对称,所述支撑条具有第一拓宽部,所述定位槽具有能够容纳所述第一拓宽部并阻止所述支撑条沿着深度方向脱离的第二拓宽部,在所述框架上设有能够在所述支撑条与掩膜板接触时把所述支撑条固定于所述框架的固定件,所述固定件包括设在所述框架上的且穿过所述定位槽的槽底的内螺纹孔,以及能够与所述内螺纹孔相配合的螺栓。
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