[发明专利]用于基板涂覆的溅射装置有效
| 申请号： | 201510612189.4 | 申请日： | 2015-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN105986231B | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | A·许布纳;A·N·潘考;B·P·廷卡姆 | 申请（专利权）人： | 索莱尔有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王小东 |
| 地址： | 德国克塞*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于基板(8)涂覆的溅射装置，该溅射装置具有真空室、管状靶(1)、有多个开口(5)的气体通道(3)以及遮挡机构(2)。为了在溅射装置的真空室中为反应溅射过程提供均匀的气体混合物并且阻止不希望有的气体通道涂覆而提出，气体通道(3)平行于该靶(1)的纵向延伸部设置在该靶(1)的与该基板(8)相对的一侧上且至少与反应气体源相连。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基板涂覆 溅射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于基板(8)涂覆的溅射装置，该溅射装置具有真空室、管状靶(1)、具有多个开口(5)的气体通道(3)以及遮挡机构(2)，其中这些开口(5)分布在所述气体通道(3)的长度范围内，其中所述气体通道(3)平行于所述靶(1)的纵向延伸部设置在所述靶(1)的与所述基板(8)相对的一侧上且至少与反应气体源相连。
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