[发明专利]处理至少一个载体的方法以及处理设备有效

专利信息
申请号: 201510613602.9 申请日: 2015-09-23
公开(公告)号: CN105448664B 公开(公告)日: 2019-03-08
发明(设计)人: J·特雷特纳;F·帕齐希 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L21/67
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 郑立柱
地址: 德国诺伊*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明的各个实施例涉及处理至少一个载体的方法以及处理设备。根据各个实施例,方法可以包括:用第一液体来填充腔室和耦接至腔室的管道,该管道从腔室向上延伸;将第二液体的部分引入到在管道中的第一液体中;以及从腔室至少部分地去除第一液体以将管道的内容物排空到腔室中,从而在腔室中的第一液体上设置通过引入的第二液体而获得的连续表面层。
搜索关键词: 处理 至少 一个 载体 方法 以及 设备
【主权项】:
1.一种用于处理至少一个载体的方法,包括:用第一液体来填充腔室和耦接至所述腔室的管道,从而所述第一液体的顶表面到达所述管道,其中所述管道从所述腔室垂直向上延伸,并且其中所述管道具有小于所述腔室的水平延伸的水平延伸;将第二液体的部分引入到在所述管道中的所述第一液体中,从而所述第二液体浮在所述第一液体顶上并且与所述第一液体实质分开;以及从所述腔室至少部分地去除所述第一液体,以便将所述管道的内容物排空到所述腔室中,从而在所述腔室中的所述第一液体上通过引入的所述第二液体提供连续表面层。
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