[发明专利]微机电振动传感器在审
| 申请号： | 201510613613.7 | 申请日： | 2015-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN105547461A | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | M·韦内里;S·博斯科;A·莫尔切利 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06;G06F3/041 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;吕世磊 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 一种微机电振动传感器包括：第一室；第二室；在第一室与第二室之间的半导体隔膜；被电容性地耦合至隔膜的参考电极；和将第一室、第二室和隔膜包封并与外界声学地隔离的封装结构。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 振动 传感器 | ||
【主权项】：
一种微机电振动传感器，包括：第一室；第二室；在所述第一室与所述第二室之间的半导体隔膜；被电容性地耦合至所述隔膜的参考电极；以及封装结构，所述封装结构将所述第一室、所述第二室和所述隔膜包封并与所述封装结构外的环境声学地隔离。
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