[发明专利]生产氟和钛掺杂玻璃毛坯的方法及由该方法生产的毛坯

摘要

本发明公开了生产氟和钛掺杂玻璃毛坯的方法及由该方法生产的毛坯，其在400nm‑700nm波长范围内在10mm样品厚度下具有至少60%的内部透射率，钛以氧化形式Ti3+和Ti4+存在，所述方法包括：(a)通过火焰水解含硅和钛的前体物质产生TiO2‑SiO2烟灰体，(b)氟化烟灰体以形成氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体，(c)在含水蒸气气氛中处理氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体以形成经调理的烟灰体，和(d)使经调理的烟灰体玻璃化以形成钛掺杂硅石玻璃的毛坯，所述玻璃具有10wt.ppm‑100 wt.ppm的平均OH含量和2,500wt.ppm‑10,000 wt.ppm的平均氟含量。

主权项

1.用于生产钛掺杂玻璃的毛坯的方法，所述玻璃具有高硅酸含量和在400 nm-700 nm波长范围内在10 mm样品厚度下至少60%的内部透射率，钛以氧化形式Ti3+和Ti4+存在，并且具有用于EUV平版印刷术的给定的氟含量，所述方法包括以下步骤：(a) 通过火焰水解含硅和钛的前体物质产生TiO2-SiO2烟灰体，(b) 氟化所述烟灰体以形成氟掺杂TiO2-SiO2烟灰体，(c) 在含水蒸气气氛中处理所述氟掺杂TiO2-SiO2烟灰体以形成经调理的烟灰体，(d) 使所述经调理的烟灰体玻璃化以形成钛掺杂玻璃的毛坯，所述玻璃具有高硅酸含量和10 wt. ppm-100 wt. ppm的平均OH含量及2,500 wt. ppm-10,000 wt. ppm的平均氟含量，其中在玻璃化后，所述毛坯在还原气氛中经过处理，其中Ti3+/Ti4+比率提高，同时400nm-700 nm波长范围内的内部透射率降低，并且其中随后所述毛坯在600℃-1000℃温度下经过退火处理以取消内部透射率的降低。